Plasma-System "Femto", Diener electronic
Plasma Surface Technology, Femto System

Plasma-Oberflächen-Systeme
Die Plasmaanlage vom Typ FEMTO wurde hauptsächlich für die Kleinserienfertigung, den Laborbetrieb und für Forschungs- und Entwicklungszwecke entwickelt.

Plasmatechnik:
Die zu behandelnden Teile werden auf Warenträgern plaziert und in die Plasmakammer eingebracht. Nach der Evakuierung der Kammer wird ein Prozessgas (z.B. Sauerstoff) zugeführt und durch die zusätzliche Zufuhr von Energie entsteht Plasma (ionisiertes Gas). Die Oberfläche des Probeteils wird durch chemische Reaktionen gereinigt, aktiviert und bei längeren Prozesszeiten auch geätzt. Das Prozessgas wird über die Vakuumpumpe kontinuierlich abgesaugt. Der Prozess ist steuerbar und durch den Einsatz verschiedener Prozessgase sind viele Anwendungen möglich.
Anwendungsbeispiele:

  • Erzeugung von hochreinen Oberflächen
  • Fotolack-Veraschung
  • Asbestanalyse
  • Hydrophilieren, Hydrophobieren
  • Klebevorbehandlung von Metallen, Kunststoffen, Elastomeren und Keramiken
  • Vorbehandlung vor dem Bedrucken, Lackieren, Bonden, Kleben, ...
  • Reduktion von oxidierten Oberflächen
  • Lötvorbehandlung
  • Sterilisieren
  • Ätzung und Strukturierung von Oberflächen
  • Elektronenmikroskopie
  • TEM Probenhalter / REM

 

Technische Daten:
Plasmaquelle:40 kHz (13,56 MHz, 2,45 GHz)
Stufenlose Leistungsregelung:0 – 200 W
Halbautomatische Steuerung

Prozesstimer

1 Prozessgas

Vakuumkammer:
Volumen:2 Liter
Material:Edelstahl
Abmessungen (Ø × T):100 × 270 mm
Gehäuse:
Abmessungen (B × H × T):350 × 210 × 500 mm
Gewicht o. Pumpe:18 kg


ArtikelBest.-Nr.
Plasma-Oberflächen-Technik Typ Femto, inkl. Vakuumpumpe94 74 10000


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